[发明专利]涂敷装置

摘要

本发明提供一种涂敷装置，涂敷装置即使在通过挠性的涂敷液供给管，从涂敷液贮存部向进行往复移动的喷嘴输送涂敷液的情况下，也能够将涂敷液的流量维持恒定来均匀地涂敷涂敷液。压力变动吸收机构（70）具有压力吸收部（71）和流量抑制部（72）。压力吸收部（71）由薄壁的树脂制的软管（73）构成，通过随着从涂敷液供给管（64）输送的涂敷液的压力变动而发生弹性变形来使涂敷液容置部的体积变化。另外，流量抑制部（72）由内径比涂敷液供给管（64）的内径和软管（73）的内径小即具有更小的节流孔厚壁的树脂制的硬管（74）构成。

主权项

一种涂敷装置，具有：基板保持部，用于保持基板，喷嘴，用于向被上述基板保持部保持的基板喷出涂敷液，主扫描方向移动机构，用于使上述喷嘴沿着平行于基板的表面的主扫描方向往复移动，副扫描方向移动机构，用于使上述基板保持部沿着副扫描方向相对于上述喷嘴移动，其中，上述副扫描方向垂直于上述主扫描方向，并且平行于基板的表面，挠性的涂敷液供给管，用于从涂敷液贮存部向上述喷嘴输送涂敷液；该涂敷装置的特征在于，还具有压力变动吸收机构，该压力变动吸收机构配设在上述喷嘴与上述涂敷液供给管之间，并且与上述喷嘴形成一体来进行移动，该压力变动吸收机构具有：压力吸收部，随着从上述涂敷液供给管输送的涂敷液的压力变动而发生弹性变形，由此使涂敷液容置部的体积变化，流量抑制部，具有比上述涂敷液供给管的内径更小的节流孔。