[发明专利]一种真空镀膜机无效
| 申请号： | 201210196173.6 | 申请日： | 2012-06-14 |
| 公开（公告）号： | CN102703865A | 公开（公告）日： | 2012-10-03 |
| 发明（设计）人： | 成军 | 申请（专利权）人： | 昆山浦力金属工业有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/54 |
| 代理公司： | 苏州广正知识产权代理有限公司 32234 | 代理人： | 汪发春 |
| 地址： | 215300 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种真空镀膜机，包括真空镀膜室、温度控制系统、膜厚控制系统和蒸发控制系统，所述真空镀膜室包括隔断装置，所述隔断装置包括隔板和驱动装置，所述驱动装置和隔板连接，控制隔板的开启和关闭。本发明真空镀膜机，可以对蒸发源和产品之间进行隔断，隔绝杂质和气体对镀膜生产的影响，从而能能够制造出高精度的光学薄膜。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 真空镀膜 | ||
【主权项】：
一种真空镀膜机，包括真空镀膜室、温度控制系统、膜厚控制系统和蒸发控制系统，其特征在于，所述真空镀膜室包括隔断装置，所述隔断装置包括隔板和驱动装置，所述驱动装置和隔板连接，控制隔板的开启和关闭。
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