[发明专利]应用于点测装置的平板探针结构及其制作方法有效
申请号: | 201210202796.X | 申请日: | 2012-06-15 |
公开(公告)号: | CN102879617A | 公开(公告)日: | 2013-01-16 |
发明(设计)人: | 范宏光;蔡锦溢;余陈志;杨惠彬;王千魁 | 申请(专利权)人: | 旺矽科技股份有限公司 |
主分类号: | G01R1/067 | 分类号: | G01R1/067;G01R3/00 |
代理公司: | 北京远大卓悦知识产权代理事务所(普通合伙) 11369 | 代理人: | 史霞 |
地址: | 中国台湾新竹县*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | 一种应用于点测装置的平板探针结构及其制作方法,该结构包括一探针主体以及一平板针,该探针主体具有一延伸段、一固定段及一设于该延伸段与该固定段之间的梁柱段,该平板针具有一针身以及一针尖,该针身结合于该延伸段,该针尖具有一接合面、一点测端面、一第一侧壁及一第二侧壁,该点测端面与该第一侧壁及该第二侧壁间分别形成一倾斜角。通过将探针尖端设计为兼具平板状及与类梯形的形状,可以有效降低于检测时所产生的刮痕。而本发明的结构的制作方法可利用治具进行焊接作业,而可进行大量生产。 | ||
搜索关键词: | 应用于 装置 平板 探针 结构 及其 制作方法 | ||
【主权项】:
一种应用于点测装置的平板探针结构,其特征在于,所述平板探针结构包含有:一探针主体,具有一延伸段、一固定段及一设于该延伸段与该固定段之间的梁柱段,该延伸段及该固定段分别与该梁柱段相夹一第一夹角及一第二夹角;一平板针,具有一针身以及一针尖,该针身具有一与该延伸段结合的第一端以及一相对该第一端的第二端,该第二端具有一包括一底面的容置槽,该针尖以微机电制程形成于该容置槽,该针尖具有一附着于该底面的接合面、一相对该接合面且设于该容置槽外的点测端面以及设于该接合面与该点测端面之间且彼此相对的一第一侧壁及一第二侧壁,该接合面具有两分别与该第一侧壁及该第二侧壁相交的长边缘及两与该长边缘垂直的短边缘,且该点测端面与该第一侧壁及该第二侧壁间分别形成一倾斜角。
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