[发明专利]批量式处理装置

摘要

本发明提供处理气体的使用效率高、且即便被处理体的面积巨大也能够应用ALD法的批量式处理装置。具备主室（31a）；在主室（31a）内沿该主室的高度方向层叠设置，并载置被处理体（G）的多个工作台（101a～101y）；以及针对每个工作台（101a～101y）分别设置一个、并遮盖载置于工作台（101a～101y）的被处理体（G）的多个罩（102a～102y），利用多个工作台（101a～101y）与多个罩（102a～102y），以包围载置于多个工作台（101a～101y）的多个被处理体（G）中的各被处理体（G）的方式，形成容量小于主室（31a）的容量的处理用小空间（106）。

主权项

一种批量式处理装置，该批量式处理装置对多个被处理体同时实施处理，其特征在于，所述批量式处理装置具备：主室；在所述主室内沿该主室的高度方向层叠设置，并载置所述被处理体的多个工作台；以及针对每个所述工作台分别设置一个，并遮盖载置于所述工作台的所述被处理体的多个罩，利用所述多个工作台与所述多个罩，以包围载置于所述多个工作台的所述多个被处理体中的各被处理体的方式，形成容量小于所述主室的容量的处理用小空间。