[发明专利]紫外线照射装置无效
| 申请号： | 201210216149.4 | 申请日： | 2012-06-27 |
| 公开（公告）号： | CN102847691A | 公开（公告）日： | 2013-01-02 |
| 发明（设计）人： | 片桐毅;广井和则 | 申请（专利权）人： | 株式会社杰士汤浅国际 |
| 主分类号： | B08B7/00 | 分类号： | B08B7/00;H01L21/67 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 雒运朴 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种紫外线照射装置，其通过提高收容紫外线灯的壳体内的气体的置换效率，从而缩短气体的置换时间且降低该置换的气体使用量。所述紫外线照射装置具备：对工件(W)照射紫外线的紫外线灯(2)；收容紫外线灯(2)且具有与工件(W)对置开口的开口部(31)的壳体(3)；向壳体(3)内供给气体的气体供给机构(4)，在壳体(3)的内表面或内部空间设有循环引导面(3x)，该循环引导面(3x)用于使由气体供给机构(4)供给的气体在紫外线灯(2)的周围单向循环。 | ||
| 搜索关键词： | 紫外线 照射 装置 | ||
【主权项】：
一种紫外线照射装置，其特征在于，具备：紫外线灯，其向工件照射紫外线；壳体，其收容所述紫外线灯且具有与所述工件对置开口的开口部；气体供给机构，其向所述壳体内供给气体，在所述壳体的内表面或内部空间设有循环引导面，该循环引导面用于使由所述气体供给机构供给的气体在所述紫外线灯的周围单向循环。
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