[发明专利]一种工件基体表面的防护薄膜及其制备方法无效
| 申请号： | 201210230205.X | 申请日： | 2012-07-02 |
| 公开（公告）号： | CN102758174A | 公开（公告）日： | 2012-10-31 |
| 发明（设计）人： | 宋振纶;谢婷婷;杨丽景;冒守栋;郑必长 | 申请（专利权）人： | 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 |
| 主分类号： | C23C14/14 | 分类号： | C23C14/14;C23C14/35 |
| 代理公司： | 北京鸿元知识产权代理有限公司 11327 | 代理人： | 陈英俊 |
| 地址： | 315201 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种工件基体表面的防护膜，该防护膜具有由钛膜与铝膜组成的多层膜，其中钛膜与铝膜交替层叠形成周期排列，一个周期中钛膜与铝膜的厚度之和为200～1000nm，防护薄膜的总厚度大于4μm。与现有的工件表面的保护膜相比，该防护膜结构新颖，表面平整致密，能够对工件基体表面进行有效防护。尤其是采用磁控溅射沉积技术制备得到的该防护膜，由于钛膜和铝膜的交替沉积，使钛膜和铝膜的柱状晶结构相互被打断，抑制了贯穿薄膜的孔隙，从而有效解决了钛膜或铝膜等单层膜由于柱状晶结构间存在孔隙而影响对工件基体表面的防护效果的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 工件 基体 表面 防护 薄膜 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种工件基体表面的防护薄膜，其特征是：所述的防护薄膜由钛膜与铝膜交替层叠形成周期排列；所述的一个周期中钛膜与铝膜的厚度之和为200～1000nm；所述的防护薄膜的厚度大于4μm。
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