[发明专利]一种晶体管阈值电压的测试电路有效
申请号: | 201210258616.X | 申请日: | 2012-07-24 |
公开(公告)号: | CN103576065A | 公开(公告)日: | 2014-02-12 |
发明(设计)人: | 甘正浩;冯军宏 | 申请(专利权)人: | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
主分类号: | G01R31/26 | 分类号: | G01R31/26;G01R19/00 |
代理公司: | 北京市磐华律师事务所 11336 | 代理人: | 董巍;高伟 |
地址: | 201203 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明涉及一种晶体管阈值电压的测试电路,所述测试电路包括阈值电压应力电路,所述阈值电压应力电路包括含有待测晶体管的镜像电流电路,所述镜像电流电路一端连接电源,另一端接地,所述测试电路还包括一开关电路,所述开关电路控制所述阈值电压应力电路分别处于应力状态和测量状态,通过所述两种状态来测量所述待测晶体管的阈值电压。本发明在现有技术的基础上,在所述测试电路中加入开关电路,通过所述开关电路控制待测器件在电路处于断路时处于应力状态,然后所述测试电路通路时处于测量状态,通过上述两种状态计算得到待测器件的阈值电压,此外,本发明还可以加入参照电路进一步提高所述阈值电压测量的准确度。 | ||
搜索关键词: | 一种 晶体管 阈值 电压 测试 电路 | ||
【主权项】:
一种晶体管阈值电压的测试电路,所述测试电路包括阈值电压应力电路,所述阈值电压应力电路包括含有待测晶体管的镜像电流电路,所述镜像电流电路一端连接电源,另一端接地,其特征在于,所述测试电路还包括一开关电路,所述开关电路控制所述阈值电压应力电路分别处于应力状态和测量状态,通过所述两种状态来测量所述待测晶体管的阈值电压。
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