[发明专利]涂敷装置

摘要

本发明提供一种在向翘曲大的基板涂敷涂敷液的情况下也能够高精度地涂敷涂敷液的涂敷装置。通过基板搬运机构（14）将基板搬运至载物台（12）上，并将基板吸附保持于该载物台（12）的保持面（30）上。并且，在使狭缝喷嘴（41）的涂敷液喷出用狭缝与吸附保持于载物台（12）的保持面（30）上的基板的表面接近的状态下，使该狭缝喷嘴（41）相对于基板移动，由此在基板的表面涂敷涂敷液。在通过狭缝喷嘴（41）向基板涂敷涂敷液的期间，在通过多个吸附盘（71）对基板的背面的多个位置进行吸附保持的状态下，将按压于载物台（12）的保持面（30）上。

主权项

一种涂敷装置，在使狭缝喷嘴上的涂敷液喷出用狭缝与载置在载物台上的基板的表面相接近的状态下，使上述狭缝喷嘴相对于该基板在水平方向上移动，由此向上述基板的表面涂敷涂敷液，其特征在于，上述涂敷装置具有多个吸附构件，在上述狭缝喷嘴向上述基板涂敷涂敷液的期间，多个上述吸附构件在对上述基板的背面上的多个位置进行吸附保持的状态下，将上述基板按压于上述载物台的表面，由此将上述基板保持为相对于上述载物台平坦的状态。