[发明专利]芯片密封环结构有效
申请号: | 201210262670.1 | 申请日: | 2012-07-26 |
公开(公告)号: | CN102903687A | 公开(公告)日: | 2013-01-30 |
发明(设计)人: | 张添昌;黄裕华 | 申请(专利权)人: | 联发科技股份有限公司 |
主分类号: | H01L23/485 | 分类号: | H01L23/485 |
代理公司: | 北京万慧达知识产权代理有限公司 11111 | 代理人: | 于淼;张一军 |
地址: | 中国台湾新竹科*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | 本发明提供一种芯片密封环结构。上述芯片密封环结构包括内密封环部分,围绕集成电路区;外密封环部分,被切割道围绕且围绕内密封环部分,其中外密封环部分具有第一宽度的外部顶层金属层图案,且外部顶层金属层图案延伸至内密封环部分上方,且连接至内密封环部分的内部顶层下一层金属层图案;第一重布线图案,位于外部顶层金属层图案上,具有窄于第一宽度的第二宽度;第二重布线图案,位于第一重布线图案上;重布线保护层,覆盖第二重布线图案和内密封环部分,其中重布线保护层与切割道以第一距离隔开。本发明提供的密封环结构,能够在芯片切割工艺期间,提供良好的破裂阻挡功能。 | ||
搜索关键词: | 芯片 密封 结构 | ||
【主权项】:
一种芯片密封环结构,包括:内密封环部分,围绕集成电路区;外密封环部分,被切割道围绕,且所述外密封环部分围绕所述内密封环部分,其中所述外密封环部分具有外部顶层金属层图案,所述外部顶层金属层图案具有第一宽度,且所述外部顶层金属层图案延伸至所述内密封环部分上方,且连接至所述内密封环部分的内部顶层下一层金属层图案;第一重布线图案,位于所述外部顶层金属层图案上,具有窄于所述第一宽度的第二宽度;第二重布线图案,位于所述第一重布线图案上;以及重布线保护层,覆盖所述第二重布线图案和所述内密封环部分,其中所述重布线保护层与所述切割道以第一距离隔开。
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