[发明专利]基板处理装置及方法有效
| 申请号： | 201210265320.0 | 申请日： | 2012-07-30 |
| 公开（公告）号： | CN102898032A | 公开（公告）日： | 2013-01-30 |
| 发明（设计）人： | 金哲佑;李晟熙 | 申请（专利权）人： | 细美事有限公司 |
| 主分类号： | C03C17/00 | 分类号： | C03C17/00 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 刘宗杰;钟锦舜 |
| 地址： | 韩国忠*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明提供一种基板处理装置和基板处理方法，能够缩短整个工序时间。本发明一实施方式的基板处理装置包括：基板支持单元，支持基板；喷墨嘴，向上述基板吐出第1处理液；涂敷嘴，向上述基板吐出与第1处理液不同的第2处理液；以及台架单元，使上述喷墨嘴和上述涂敷嘴沿第1方向直线移动，使得上述喷墨嘴和上述涂敷嘴的位置相对于上述基板支持单元变更。 | ||
| 搜索关键词： | 处理 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种基板处理装置，包括：基板支持单元，支持基板；喷墨嘴，向上述基板吐出第1处理液；涂敷嘴，向上述基板吐出与第1处理液不同的第2处理液；以及台架单元，使上述喷墨嘴和上述涂敷嘴沿第1方向直线移动，使得上述喷墨嘴和上述涂敷嘴的位置相对于上述基板支持单元变更。
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