[发明专利]感光性树脂组合物、图案制造方法及电子部件有效
| 申请号： | 201210272318.6 | 申请日： | 2004-12-16 |
| 公开（公告）号： | CN102854745A | 公开（公告）日： | 2013-01-02 |
| 发明（设计）人： | 大江匡之;小松博;津丸佳子;川崎大;加藤幸治;上野巧 | 申请（专利权）人： | 日立化成杜邦微系统股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/004 | 分类号： | G03F7/004;G03F7/022;G03F7/023;G03F7/039;G03F7/40;G03F7/00 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 纪晓峰 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： |
一种感光性聚合物组合物，含有(a)具有如下述通式(I)【化1】 |
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| 搜索关键词： | 感光性 树脂 组合 图案 制造 方法 电子 部件 | ||
【主权项】：
1.一种感光性聚合物组合物，包括：(a)具有如下述通式(I)所示的重复单元、且在末端具有酚性羟基的聚酰胺；【化1】![]()
(式中，U表示4价有机基团、V表示2价有机基团、p为表示重复单元数的整数)(b)经光照产生酸的化合物：以及(c)如下述通式(II)所示的化合物，【化2】![]()
(式中，m为2，n为1；R各自分别为氢、甲基或乙基；R1及R2各自分别表示碳原子数1～3的氟代烷基)。
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