[发明专利]旋转式沉积设备在审
| 申请号： | 201210279793.6 | 申请日： | 2012-08-07 |
| 公开（公告）号： | CN103074578A | 公开（公告）日： | 2013-05-01 |
| 发明（设计）人： | 马浩烈;李载昱 | 申请（专利权）人： | 塔工程有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人： | 余刚;吴孟秋 |
| 地址： | 韩国庆*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明公开了一种旋转式沉积设备，其包括：至少一个玻璃面板保持架，保持玻璃面板；至少一个第一旋转装置，旋转玻璃面板保持架；至少一个沉积源，存储沉积材料，沉积源将沉积材料排放到玻璃面板上；以及至少一个隔间，隔间中包含玻璃面板保持架、第一旋转装置和沉积。本发明能够显著地提高通常比玻璃面板中心部位的均匀度差的玻璃面板周缘上的薄膜的均匀度。此外，可将玻璃面板与沉积源之间的距离调节至最优距离，使得薄膜能够以较高的沉积效率均匀地形成在玻璃面板上。而且，在多个隔间顺序地一个接一个地连接的直线型布置结构的情况中，形成不同种类薄膜的有机材料分别布置在各个隔间中，因此防止了有机材料的交叉污染。 | ||
| 搜索关键词： | 旋转 沉积 设备 | ||
【主权项】：
一种旋转式沉积设备，包括：至少一个玻璃面板保持架，保持玻璃面板；至少一个第一旋转装置，旋转所述玻璃面板保持架；至少一个沉积源，存储沉积材料，所述沉积源将所述沉积材料排放到所述玻璃面板上；以及至少一个隔间，所述隔间中包含所述玻璃面板保持架、所述第一旋转装置和所述沉积源。
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