[发明专利]一种彩膜显影机无效

专利信息
申请号: 201210286041.2 申请日: 2012-08-13
公开(公告)号: CN102789141A 公开(公告)日: 2012-11-21
发明(设计)人: 胡立巍 申请(专利权)人: 深圳市华星光电技术有限公司
主分类号: G03F7/30 分类号: G03F7/30
代理公司: 深圳汇智容达专利商标事务所(普通合伙) 44238 代理人: 潘中毅;熊贤卿
地址: 518132 广东*** 国省代码: 广东;44
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要: 发明公开了一种彩膜显影机,用于在液晶面板制造中对基板面内光阻进行均匀显影,包括显影槽,所述显影槽包括分别相对于水平面设置倾斜的第一显影槽和第二显影槽;所述第一显影槽和所述第二显影槽相对于所述水平面倾斜的倾斜方向相反。实施本发明的彩膜显影机,使得基板通过显影槽显影时可以相互抵消因为显影液由上至下的流动对倾斜基板上光阻造成的显影不均;增强了基板显影的均匀性;改善面内制程均匀程度,缩小差异性,提升产品的品质。
搜索关键词: 一种 显影
【主权项】:
一种彩膜显影机,用于在液晶面板制造中对基板面内光阻进行均匀显影,包括:显影槽,其特征在于,所述显影槽包括分别相对于水平面设置倾斜的第一显影槽(11)和第二显影槽(12);所述第一显影槽(11)和所述第二显影槽(12)相对于所述水平面倾斜的倾斜方向相反。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于深圳市华星光电技术有限公司,未经深圳市华星光电技术有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201210286041.2/,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top