[发明专利]一种彩膜显影机无效
申请号: | 201210286041.2 | 申请日: | 2012-08-13 |
公开(公告)号: | CN102789141A | 公开(公告)日: | 2012-11-21 |
发明(设计)人: | 胡立巍 | 申请(专利权)人: | 深圳市华星光电技术有限公司 |
主分类号: | G03F7/30 | 分类号: | G03F7/30 |
代理公司: | 深圳汇智容达专利商标事务所(普通合伙) 44238 | 代理人: | 潘中毅;熊贤卿 |
地址: | 518132 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明公开了一种彩膜显影机,用于在液晶面板制造中对基板面内光阻进行均匀显影,包括显影槽,所述显影槽包括分别相对于水平面设置倾斜的第一显影槽和第二显影槽;所述第一显影槽和所述第二显影槽相对于所述水平面倾斜的倾斜方向相反。实施本发明的彩膜显影机,使得基板通过显影槽显影时可以相互抵消因为显影液由上至下的流动对倾斜基板上光阻造成的显影不均;增强了基板显影的均匀性;改善面内制程均匀程度,缩小差异性,提升产品的品质。 | ||
搜索关键词: | 一种 显影 | ||
【主权项】:
一种彩膜显影机,用于在液晶面板制造中对基板面内光阻进行均匀显影,包括:显影槽,其特征在于,所述显影槽包括分别相对于水平面设置倾斜的第一显影槽(11)和第二显影槽(12);所述第一显影槽(11)和所述第二显影槽(12)相对于所述水平面倾斜的倾斜方向相反。
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