[发明专利]探针测试装置与其制造方法

摘要

一种探针测试装置与其制造方法，制造方法包括下述步骤。首先，将多个空间转换板定位于增强板上，空间转换板具有多个第一焊垫。之后，将空间转换板固定于增强板，并使空间转换板电性连接于增强板。然后，于空间转换板上形成具有开口的光阻图案，第一焊垫位于开口内。之后，于开口内形成覆盖第一焊垫的金属层。接着，去除光阻图案并将金属层平坦化以形成第二焊垫。之后，将增强板与电路板电性连接。再来，提供具有多个探针区的探针头，每一探针区皆对应到其中一空间转换板，其中探针区上的探针借由第二焊垫与空间转换板的内部电路电性连接。

主权项

一种探针测试装置的制造方法，其特征在于，该制造方法包括以下步骤：提供一增强板；将多个空间转换板定位于该增强板上，该空间转换板的其中一表面具有多个第一焊垫；将该空间转换板固定于该增强板上，并使该空间转换板的内部电路电性连接于该增强板的内部电路；于该空间转换板上形成一光阻图案，该光阻图案具有多个开口，该第一焊垫是位于该开口内；于每一开口内形成一金属层，该金属层覆盖所述的第一焊垫，以形成多个第二焊垫；去除该光阻图案；提供一电路板，并将该增强板的内部电路与该电路板的内部电路电性连接；及提供一探针头，该探针头具有多个探针区，每一探针区皆对应到其中一空间转换板，且该探针区包括多根探针，其特征在于该探针是借由该第二焊垫而与该空间转换板的内部电路电性连接。