[发明专利]用于安装芯片的设备和方法有效
申请号: | 201210296048.2 | 申请日: | 2012-08-17 |
公开(公告)号: | CN102956525A | 公开(公告)日: | 2013-03-06 |
发明(设计)人: | 崔上洵 | 申请(专利权)人: | 三星电机株式会社 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H01L21/60 |
代理公司: | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人: | 余刚;吴孟秋 |
地址: | 韩国*** | 国省代码: | 韩国;KR |
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摘要: | 本发明公开了一种用于安装芯片的设备和方法。用于安装芯片的设备包括:第一芯片安装器,允许工作面板装载于第一芯片安装器上,工作面板上阵列有多个基板单元,并且第一芯片安装器具有用于将所有芯片安装在所述多个基板单元中的一些基板单元上的第一供料站;转动单元,转动完全地经历过通过第一供料站将芯片安装在基板单元中的一些基板单元上的工序的工作面板;以及第二芯片安装器,允许工作面板装载于第二芯片安装器上,并且第二芯片安装器具有用于将所有芯片安装在多个基板单元中的其它剩余基板单元上的第二供料站。可以识别阵列于工作面板上的多个基板单元中的有缺陷基板,并且可以缩短用于安装芯片所需的处理时间,因而提高了产品生产率。 | ||
搜索关键词: | 用于 安装 芯片 设备 方法 | ||
【主权项】:
一种用于安装芯片的设备,所述设备包括:第一芯片安装器,允许工作面板装载于所述第一芯片安装器上,所述工作面板上阵列有多个基板单元,并且所述第一芯片安装器具有用于将所有所述芯片安装在所述多个基板单元中的一些基板单元上的第一供料站;转动单元,转动完全地经历通过所述第一供料站将芯片安装在所述基板单元中的一些基板单元上的工序的所述工作面板;以及第二芯片安装器,允许所述工作面板装载于所述第二芯片安装器上,并且所述第二芯片安装器具有用于将所有所述芯片安装在所述多个基板单元中的其它剩余基板单元上的第二供料站。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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