[发明专利]芯片贴装机的安装不良跟踪方法及装置有效
申请号: | 201210301118.9 | 申请日: | 2012-08-22 |
公开(公告)号: | CN103426785A | 公开(公告)日: | 2013-12-04 |
发明(设计)人: | 李刚仁;姜然择;车成淳 | 申请(专利权)人: | 三星泰科威株式会社 |
主分类号: | H01L21/66 | 分类号: | H01L21/66;H05K3/30 |
代理公司: | 北京铭硕知识产权代理有限公司 11286 | 代理人: | 韩明星 |
地址: | 韩国庆尚*** | 国省代码: | 韩国;KR |
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摘要: | 本发明涉及一种芯片贴装机的安装不良跟踪方法及装置,根据本发明一实施例的芯片贴装机的安装不良跟踪方法,包括:根据基板的基准标记(Fiducial mark)中成为跟踪芯片贴装机的安装不良与否的对象的基准标记的所谓对象标记已事先设定的工作程序芯片贴装机进行安装工作的步骤;按照所述工作程序在基板安装完元件时,判断安装在所述对象标记的元件的安装不良与否的步骤;当安装在所述对象标记的元件为安装不良时,另外存储安装在所述对象标记时的记录数据的步骤。 | ||
搜索关键词: | 芯片 装机 安装 不良 跟踪 方法 装置 | ||
【主权项】:
一种芯片贴装机的安装不良跟踪方法,其特征在于,包括如下步骤:根据基板的基准标记中成为跟踪芯片贴装机的安装不良与否的对象的基准标记的所谓对象标记已经事先设定的工作程序,芯片贴装机进行安装工作的步骤;当按照所述工作程序,在基板安装完元件时,判断安装在所述对象标记的元件的安装是否不良的步骤;以及当安装在所述对象标记的元件为不良安装时,另外存储安装在所述对象标记时的记录数据的步骤。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
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