[发明专利]偏振元件单元、其透射率设定方法及光照射装置

摘要

一种偏振元件单元、其透射率设定方法及光照射装置，在排列多个线栅偏振元件所构成的偏振元件单元中，即使各偏振元件的透射率存在个体差，也使光照射区域的照度分布均匀。将多个线栅偏振元件，以各端部在来自光源的光所通过的方向上重叠的方式沿着一个方向排列配置在框体内，在上述框体上，与各个偏振元件相对应而设置有对通过各偏振元件的光进行遮光的遮光机构。遮光机构由多个遮光板构成，各遮光板的向各偏振元件上的突出量可变，通过改变遮光板的突出量，来调整透射各偏振元件的光的透射量。由此，即使各线栅偏振元件的透射率存在个体差，也能够使透射各偏振元件的光的量相同，能够使光照射区域的照度分布均匀。

主权项

一种偏振元件单元，使来自光源的光偏振，其特征在于，将多个线栅偏振元件，以各端部在来自光源的光所通过的方向上重叠的方式沿着一个方向排列配置在框体内；在上述框体上，与排列配置的各个偏振元件相对应而设置有对通过各偏振元件的光进行遮光的遮光机构；上述遮光机构沿着上述一个方向排列配置，各遮光机构在相对于上述一个方向交叉的方向上，从上述框体向上述偏振元件上的突出量可变。