[发明专利]真空垫无效
申请号: | 201210306675.X | 申请日: | 2012-08-24 |
公开(公告)号: | CN102951442A | 公开(公告)日: | 2013-03-06 |
发明(设计)人: | 金东藓;金显埈;郑镇一;李延喆;田丞镐;朴城辰;曹汉瑞 | 申请(专利权)人: | 三星电机株式会社 |
主分类号: | B65G47/91 | 分类号: | B65G47/91 |
代理公司: | 北京润平知识产权代理有限公司 11283 | 代理人: | 董彬;桑传标 |
地址: | 韩国*** | 国省代码: | 韩国;KR |
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摘要: | 本发明的真空垫包括:吸附基板的吸附垫部;以及以从吸附垫部的基板吸附面向内侧将所述吸附垫部划分为多个区域的方式形成的支撑条。 | ||
搜索关键词: | 真空 | ||
【主权项】:
一种真空垫,其特征在于,该真空垫包括:吸附垫部,该吸附垫部吸附基板;以及支撑条,该支撑条以从所述吸附垫部的基板吸附面向内侧将所述吸附垫部划分为多个区域的方式形成。
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