[发明专利]一种显影液监控方法及设备有效
申请号: | 201210307188.5 | 申请日: | 2012-08-24 |
公开(公告)号: | CN102830595A | 公开(公告)日: | 2012-12-19 |
发明(设计)人: | 王灿;王伟杰;何璇 | 申请(专利权)人: | 京东方科技集团股份有限公司 |
主分类号: | G03F7/30 | 分类号: | G03F7/30 |
代理公司: | 北京中博世达专利商标代理有限公司 11274 | 代理人: | 申健 |
地址: | 100015 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明实施例提供一种显影液监控方法及设备,涉及液晶显示技术领域,可以有效准确地监控显影液的显影效果。该设备包括:显影液槽,放置待显影基板的基板支撑架;待显影基板上涂布有第一颜色的光刻胶;还包括:光检测单元,所述光检测单元在所述待显影基板浸入所述显影液后的规定时间内向所述待显影基板的显影区域发射检测光线;和与所述光检测单元电连接的处理单元,用于根据所述检测光线确定所述显影区域发生显影的时间间隔,若确定所述时间间隔不在预设时间范围内,则确定所述显影液失效。本发明实施例用于监控显影液的显影效果。 | ||
搜索关键词: | 一种 显影液 监控 方法 设备 | ||
【主权项】:
一种显影液监控设备,包括用于盛放显影液的显影液槽,和位于所述显影液槽中的放置待显影基板的光线可透的基板支撑架;其中,所述待显影基板上涂布有第一颜色的光刻胶;其特征在于,还包括:光检测单元,所述光检测单元在所述待显影基板浸入所述显影液后的规定时间内向所述待显影基板的显影区域发射检测光线;和与所述光检测单元电连接的处理单元,用于根据所述检测光线确定所述显影区域发生显影的时间间隔,若确定所述时间间隔不在预设时间范围内,则确定所述显影液失效。
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