[发明专利]真空反应腔室进出料的传送方法及传送设备无效
| 申请号： | 201210322344.5 | 申请日： | 2012-09-04 |
| 公开（公告）号： | CN102842649A | 公开（公告）日： | 2012-12-26 |
| 发明（设计）人： | 李丙科 | 申请（专利权）人： | 青岛赛瑞达电子装备股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L31/18 | 分类号： | H01L31/18;H01L21/677 |
| 代理公司： | 山东清泰律师事务所 37222 | 代理人： | 宁燕 |
| 地址： | 266100 山*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种真空反应腔室进出料的传送方法，其特征在于工件在真空反应腔室中进行加工之前以及加工完毕后，需要先进入一个与真空反应腔室通过可开闭密封件连接的转换腔室，转换腔室在大气与真空之间切换，工件在转换腔室内三个工作位之间切换，以完成待加工工件从外界送至真空反应腔室以及加工完毕工件从真空反应腔室送出外界的传送；以及一种实现真空反应腔室进出料传送方法的传送设备；其优点在于不但解决了反应时不能进行装片取片的问题，而且可以解决反应腔室进行反复多次抽真空占用时间的问题，可以大大提高生产效率、节省人力。 | ||
| 搜索关键词： | 真空 反应 进出 传送 方法 设备 | ||
【主权项】：
一种真空反应腔室进出料的传送方法，其特征在于：工件在真空反应腔室中进行加工之前以及加工完毕后，需要先进入一个与真空反应腔室通过可开闭密封件连接的转换腔室，转换腔室在大气与真空之间切换，工件在转换腔室内三个工作位之间切换，以完成待加工工件从外界送至真空反应腔室以及加工完毕工件从真空反应腔室送出外界的传送。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射，或微粒辐射敏感的，并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件；专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的，例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的，一个或多个电光源，如场致发光光源在结构上相连的，并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
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