[发明专利]有机EL设备制造装置无效
| 申请号： | 201210325673.5 | 申请日： | 2009-08-17 |
| 公开（公告）号： | CN102938447A | 公开（公告）日： | 2013-02-20 |
| 发明（设计）人： | 若林雅;韮泽信广;弓场贤治;浅田干夫;落合行雄 | 申请（专利权）人： | 株式会社日立高新技术 |
| 主分类号： | H01L51/56 | 分类号： | H01L51/56;C23C14/24;C23C14/04 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 钟晶;於毓桢 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种有机EL设备制造装置，其具有在真空腔内将蒸镀材料蒸镀到基板上的蒸发源和将所述基板和蒸镀位置进行定位的掩模罩。具有这样的蒸镀机构：在所述真空腔内内存有N（N为2以上）张基板，在用所述蒸发源蒸镀第1张的第1基板的时段中，将第N张的第N基板搬入所述真空腔内，在用所述蒸发源蒸镀第2张以后的第2基板的时段中，从所述真空腔内搬出所述第1基板；具有2个将所述基板与掩模罩进行定位的定位部，并且，具有将所述定位部的一个中的进行了所述基板和掩模罩的定位后的基板移动至蒸镀位置的移动机构。 | ||
| 搜索关键词： | 有机 el 设备 制造 装置 | ||
【主权项】：
一种有机EL设备制造装置，其具有在真空腔内将蒸镀材料蒸镀到基板上的蒸发源和将所述基板和蒸镀位置进行定位的掩模罩，其特征在于，具有这样的蒸镀机构：在所述真空腔内内存有N（N为2以上）张基板，在用所述蒸发源蒸镀第1张的第1基板的时段中，将第N张的第N基板搬入所述真空腔内，在用所述蒸发源蒸镀第2张以后的第2基板的时段中，从所述真空腔内搬出所述第1基板；具有2个将所述基板与掩模罩进行定位的定位部，并且，具有将在所述定位部的一个中进行了所述基板和掩模罩的定位后的基板移动至蒸镀位置的移动机构。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L51-00 使用有机材料作有源部分或使用有机材料与其他材料的组合作有源部分的固态器件；专门适用于制造或处理这些器件或其部件的工艺方法或设备
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H01L51-42 .专门适用于感应红外线辐射、光、较短波长的电磁辐射或微粒辐射；专门适用于将这些辐射能转换为电能，或者适用于通过这样的辐射进行电能的控制
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H01L51-52 ..器件的零部件
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