[发明专利]闸流管充气系统有效
申请号: | 201210332971.7 | 申请日: | 2012-09-11 |
公开(公告)号: | CN103681167A | 公开(公告)日: | 2014-03-26 |
发明(设计)人: | 黄俊杰 | 申请(专利权)人: | 昆山国力真空电器有限公司 |
主分类号: | H01J9/395 | 分类号: | H01J9/395 |
代理公司: | 昆山四方专利事务所 32212 | 代理人: | 盛建德 |
地址: | 215301 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开了一种闸流管充气系统,包括置于密封腔内的闸流管,所述闸流管通过管道连通一储氢罐,且在闸流管和储氢罐之间的管道上依次设有工位阀和充氢微调阀;所述储氢罐又通过管道连接到一第一金属氢化物储氢器,在该储氢罐和第一金属氢化物储氢器之间的管道上依次设有进氢阀、第一隔离阀和第一储氢阀;在所述进氢阀和第一隔离阀之间的管道上依次设有两管道支路,该两管道支路上分别设有连接阀和清空阀;所述储氢罐上设有第一薄膜真空计;所述闸流管和工位阀之间的管道上设有第二薄膜真空计。该闸流管充气系统,可实现向闸流管内充高纯度、压力可控的氢气或氘气等。 | ||
搜索关键词: | 流管 充气 系统 | ||
【主权项】:
一种闸流管充气系统,包括置于密封腔(1)内的闸流管(2),其特征在于:所述闸流管通过管道连通一储氢罐(5),且在闸流管和储氢罐之间的管道上依次设有工位阀(3)和充氢微调阀(4);所述储氢罐又通过管道连接到一第一金属氢化物储氢器(9),在该储氢罐和第一金属氢化物储氢器之间的管道上依次设有进氢阀(6)、第一隔离阀(7)和第一储氢阀(8);在所述进氢阀和第一隔离阀之间的管道上依次设有两管道支路,该两管道支路上分别设有连接阀(10)和清空阀(11);所述储氢罐上设有第一薄膜真空计(12);所述闸流管和工位阀之间的管道上设有第二薄膜真空计(13)。
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