[发明专利]电子部件模块的制造方法有效
申请号: | 201210333040.9 | 申请日: | 2012-09-10 |
公开(公告)号: | CN103000564A | 公开(公告)日: | 2013-03-27 |
发明(设计)人: | 横山智哉;林繁利;池田哲也 | 申请(专利权)人: | 株式会社村田制作所 |
主分类号: | H01L21/70 | 分类号: | H01L21/70;H01L21/78 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 舒艳君;李伟 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明涉及电子部件模块的制造方法,用以提供一种当在芯片侧面设置通孔时,即使充填了树脂等绝缘体,也能够将母板按每个芯片进行分割的电子部件模块。在涂布绝缘体之前,在通孔内充填固体材料,以使绝缘体不会流入通孔内。固体材料是蜡、蜡材等低熔点材料(具有低于绝缘体的固化温度的小于100℃的熔点)。并且,若使绝缘体热固化,则固体材料熔析或者挥发,通孔成为空洞。因此,若通过使V字型的切割用槽向外侧,矩形形状的切割用槽以及V字型的切割用槽向内侧弯曲来将母层叠体切割成各芯片,则在通孔的侧壁露出端面电极,而不会发生在分割后的某一方的芯片的侧壁附着有绝缘体的情况。 | ||
搜索关键词: | 电子 部件 模块 制造 方法 | ||
【主权项】:
一种电子部件模块的制造方法,其特征在于,具有:以在陶瓷环保板材的厚度方向上导电的方式形成导电性部件的工序;将多个陶瓷环保板材进行层叠而形成层叠体的工序;在所述层叠体的包含形成有所述导电性部件的部分的位置处,在所述厚度方向上形成贯通孔的工序;在所述层叠体的下表面形成第1分割用槽的工序;烧制所述层叠体的工序;向所述贯通孔充填固体材料的工序;在所述层叠体的上表面搭载电子部件的工序;在所述层叠体的表面形成具有在高于所述固体材料的熔点的温度下发生固化的性质的绝缘性树脂的工序;和使所述绝缘性树脂热固化,并使所述固体材料熔析或者挥发的工序。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
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