[发明专利]一种扫描标准具无效
| 申请号： | 201210338172.0 | 申请日： | 2012-09-13 |
| 公开（公告）号： | CN103676142A | 公开（公告）日： | 2014-03-26 |
| 发明（设计）人： | 吴砺;贺坤;刘国宏;林磊;李阳;陈燕平 | 申请（专利权）人： | 福州高意通讯有限公司 |
| 主分类号： | G02B26/10 | 分类号： | G02B26/10 |
| 代理公司： | 福建炼海律师事务所 35215 | 代理人： | 许育辉 |
| 地址： | 350001 福*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本发明涉及光学光学与激光领域，公开了一种扫描标准具，包括输入光纤、光波导和MEMS活动片；光波导位于输入光纤与MEMS活动片之间，一端与输入光纤光胶连接，另一端靠近MEMS活动片；输入光纤端面和MEMS活动片均镀高反膜，构成标准具的两个腔面；MEMS活动片的平移活动改变两腔面的间距，形成扫描标准具。该结构利用光纤端面与MEMS活动片构成扫描标准具的两个腔面，通过MEMS活动平片的移动实现扫描功能，且光波导端面与MEMS腔面间距极小，使得光纤端面与MEMS腔面的平行度对标准具精度的影响大大降低，从而可降低对两腔面平行度的要求，使得标准具的制作更加容易。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 扫描 标准 | ||
【主权项】：
一种扫描标准具，其特征在于：包括输入光纤、光波导和MEMS活动片；所述光波导位于输入光纤与MEMS活动片之间，一端与输入光纤光胶连接，另一端靠近MEMS活动片；输入光纤端面和MEMS活动片均镀高反膜，构成标准具的两个腔面；MEMS活动片的移动改变两腔面的间距，形成扫描标准具。
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