[发明专利]聚合物材料及其应用无效
| 申请号： | 201210346914.4 | 申请日： | 2012-09-18 |
| 公开（公告）号： | CN103676481A | 公开（公告）日： | 2014-03-26 |
| 发明（设计）人： | 苏佳乐 | 申请（专利权）人： | 无锡华润上华半导体有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/038 | 分类号： | G03F7/038;B81C3/00 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 常亮 |
| 地址： | 214028 江苏省无*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种聚合物材料，该聚合物材料包含有SU8和表面活性剂。SU8为疏水性材料，因此在键合的时候需要先加热至130度以上使其回流，配合一定的压强，使两个硅片（玻璃片）完成键合。通过在SU8内添加少量的表面活性剂，将SU8改为亲水性的材料，这样SU8的表面粘性就非常好，通过光刻固化使得SU8在高温下仍然有很小量的回流，配合一定的压强，即可完成键合，而且键合压强低。本发明还公开了所述聚合物材料在键合中的应用。 | ||
| 搜索关键词： | 聚合物 材料 及其 应用 | ||
【主权项】：
一种聚合物材料，其特征在于：所述聚合物材料包含有SU8和表面活性剂。
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