[发明专利]一种氮化铝钛介质层低辐射薄膜及其制备工艺无效
申请号: | 201210347572.8 | 申请日: | 2012-09-19 |
公开(公告)号: | CN102825866A | 公开(公告)日: | 2012-12-19 |
发明(设计)人: | 黄佳木;尹军;香承杰;吴萌;柳红东;刘园园 | 申请(专利权)人: | 重庆大学 |
主分类号: | B32B17/06 | 分类号: | B32B17/06;B32B27/06 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 400044 *** | 国省代码: | 重庆;85 |
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摘要: | 一种氮化铝钛介质层低辐射薄膜及其制备工艺,属于功能薄膜技术领域。本发明采用磁控溅射法制备一种氮化铝钛介质层低辐射薄膜,其膜层结构从衬底基片往上依次为:内层氮化铝钛介质层、银层、外层氮化铝钛介质层。该膜层可见光透过率高,红外辐射率低,拥有较长的使用寿命。本发明制备工艺简单,操作方便,生产成本较低,具有很好的工业化应用前景。可广泛应用于节能建筑玻璃、汽车玻璃等行业,降低玻璃热损,减少调控室温的能耗。 | ||
搜索关键词: | 一种 氮化 介质 辐射 薄膜 及其 制备 工艺 | ||
【主权项】:
一种氮化铝钛介质层低辐射薄膜及其制备工艺,其特征在于膜层结构从衬底基片往上依次为内层氮化铝钛介质层/银层/外层氮化铝钛介质层的三明治结构。
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