[发明专利]去光阻液回收系统无效
| 申请号： | 201210393186.2 | 申请日： | 2012-10-16 |
| 公开（公告）号： | CN103728846A | 公开（公告）日： | 2014-04-16 |
| 发明（设计）人： | 孟文雄;许誉腾 | 申请（专利权）人： | 友达光电股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/42 | 分类号： | G03F7/42 |
| 代理公司： | 北京维澳专利代理有限公司 11252 | 代理人： | 马佑平;王立民 |
| 地址： | 中国台湾新竹科*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明提出一种去光阻液回收系统，至少包括薄膜蒸发器、过滤装置、回收槽、排放管路、流入管路、排渣管路以及回收管路，其中排放管路的一端接设于薄膜蒸发器的出液口，另一端接设于过滤装置的流入口；流入管路的一端接设于过滤装置的流出口，另一端则接设于薄膜蒸发器的进液口；排渣管路一端连通于排放管路，另一端则连通于流入管路；回收管路一端接设于过滤装置的排渣口，另一端则接设于回收槽的回收口。如此，前述各个装置借由各个管路相互连结后，便组成了一个去光阻液的回收系统。利用去光阻液回收系统进行废渣排放作业时，去光阻液自过滤装置的流出口进入于过滤装置内，并将废渣带走，经由排渣口流入回收管路中，再流入回收槽中进行回收。 | ||
| 搜索关键词： | 去光阻液 回收 系统 | ||
【主权项】：
一种去光阻液回收系统，包括：薄膜蒸发器，具有出液口与进液口；过滤装置，具有流入口、流出口与排渣口；回收槽，具有回收口；排放管路，一端接设于所述出液口，另一端接设于所述流入口；流入管路，一端接设于所述流出口，另一端接设于所述进液口；排渣管路，一端连通于所述排放管路，另一端连通于所述流入管路；以及回收管路，一端接设于所述排渣口，另一端接设于所述回收口。
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