[发明专利]探针卡平整度检测方法有效
| 申请号： | 201210402378.5 | 申请日： | 2012-10-19 |
| 公开（公告）号： | CN102878974A | 公开（公告）日： | 2013-01-16 |
| 发明（设计）人： | 岳小兵;刘远华;祈建华;汤雪飞;施瑾;叶守银 | 申请（专利权）人： | 上海华岭集成电路技术股份有限公司 |
| 主分类号： | G01B21/30 | 分类号： | G01B21/30 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 周耀君 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种探针卡平整度检测方法，所述探针卡平整度检测方法包括：移动探针台，使得探针台靠近所述探针卡中的探针；根据测试机获取的信号，判断探针台是否与探针接触；根据探针台与探针接触的先后顺序，获取探针卡的平整度。在此，利用集成电路芯片测试领域中常用的测试机与探针台便能实现对于探针卡平整度的检测，从而极大地降低了探针卡平整度的检测成本。 | ||
| 搜索关键词： | 探针 平整 检测 方法 | ||
【主权项】：
一种探针卡平整度检测方法，其特征在于，包括：移动探针台，使得探针台靠近所述探针卡中的探针；根据测试机获取的信号，判断探针台是否与探针接触；根据探针台与探针接触的先后顺序，获取探针卡的平整度。
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