[发明专利]一种新型PECVD设备专用C/C载板挂钩

摘要

本发明涉及一种新型PECVD设备专用C/C载板挂钩，用于硅片的定位，包括由下部开口的方形框架制成的第一、第二挂钩支架；所述方形框架的两支臂的下端内侧均设置有一个可转动的顶片；所述第一挂钩支架的方形框架的两支臂的低端分别向外设置有用于硅片的定位的第一挂钩、第二挂钩，所述第二挂钩支架的方形框架的一支臂的低端向外设置有用于硅片的定位的第三挂钩。本发明不仅镀膜斑点偏离电池片的有效区域，而且斑点面积小、绝缘性能高，同时载板易拆卸安装，不易受损伤。

主权项

一种新型PECVD设备专用C/C载板挂钩，用于硅片的定位，其特征在于：包括由下部开口的方形框架制成的第一、第二挂钩支架；所述方形框架的两支臂的下端内侧均设置有一个可转动的顶片，且两个顶片相对设置；所述第一挂钩支架的方形框架的两支臂的低端分别向外设置有用于硅片的定位的第一挂钩、第二挂钩，所述第二挂钩支架的方形框架的一支臂的低端向外设置有用于硅片的定位的第三挂钩；且第一挂钩、第二挂钩、第三挂钩与硅片接触的一面为斜坡面，同时所述斜坡面的倾斜方向均与方形框架的顶端相背离。