[发明专利]液体喷出头的制造方法

摘要

本发明提供一种液体喷出头的制造方法，该方法包括：（1）在基板上形成液体流路的模型图案以及围绕模型图案的基部图案，（2）布置覆盖层以覆盖模型图案和基部图案，（3）在覆盖层中至少形成喷出孔，以形成孔板，以及（4）移除模型图案以及基部图案，其中，以如下的形状形成基部图案：孔板形成为具有：侧壁部，其构成液体流路的侧壁；以及多个支撑结构，其布置在基板上的位于侧壁部的周边区域的位置并且支撑构成孔板的上壁的上表面部。

主权项

一种液体喷出头的制造方法，所述液体喷出头包括：孔板，其具有喷出液体用的喷出孔和与所述喷出孔连通的液体流路；以及基板，其具有用于产生喷出液体用的能量的喷出能量产生元件，所述制造方法包括如下步骤：（1）在所述基板上形成所述液体流路的模型图案以及围绕所述模型图案的基部图案，（2）布置覆盖层以覆盖所述模型图案和所述基部图案，（3）在所述覆盖层中至少形成所述喷出孔，以形成所述孔板，以及（4）移除所述模型图案以及所述基部图案，其中，以如下的形状形成所述基部图案：使所述孔板包括：侧壁部，其构成所述液体流路的侧壁；以及多个支撑结构，其布置在所述基板上的位于所述侧壁部的周边区域的位置并且支撑构成所述孔板的上壁的上表面部。