[发明专利]用于确定内部的层的粗糙度的方法无效
| 申请号： | 201210431213.0 | 申请日： | 2012-11-01 |
| 公开（公告）号： | CN103105156A | 公开（公告）日： | 2013-05-15 |
| 发明（设计）人： | 马蒂亚斯·容布卢特 | 申请（专利权）人： | 西门子公司 |
| 主分类号： | G01B21/30 | 分类号： | G01B21/30;G01B7/34 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 张春水;李德山 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于确定内部的层的粗糙度的方法，通过用于确定过渡区域（10）的粗糙度和电导率测量的一次性的、破坏性测量的相互关系能够确定其他样本的粗糙度而不进行破坏性测量。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 确定 内部 粗糙 方法 | ||
【主权项】：
用于确定在不导电层（13）下方的金属衬底（4）的或金属层（7）的内部的表面（11）的粗糙度的方法，其中，穿过所述不导电层（13），特别是陶瓷层（13），至少在外部的不导电层（13）和内部的衬底（4）或层（7）的过渡区域（10）中逐层地测量至少一个材料参数（P），直至所述材料参数升高并且达到最大的平稳值（25），其中，在所述过渡区域（10）中的所述材料参数（P）与对比样本的粗糙度相互关联，其中，该粗糙度特别是通过显微照片预先测定。
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