[发明专利]半导体组件及其制法有效
申请号: | 201210433996.6 | 申请日: | 2012-11-02 |
公开(公告)号: | CN103094233A | 公开(公告)日: | 2013-05-08 |
发明(设计)人: | 陈鋐菖 | 申请(专利权)人: | 精材科技股份有限公司 |
主分类号: | H01L23/488 | 分类号: | H01L23/488;H01L23/31;H01L21/60 |
代理公司: | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人: | 刘新宇 |
地址: | 中国台湾桃园县中*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | 一种半导体组件及其制法,该半导体组件包括:透明基板;形成于该透明基板上且具有金属氧化物层的叠层结构,其中,该叠层结构的侧壁外露出部分金属氧化物层;多个导脚,其中各该导脚间隔形成于该叠层结构上并延伸至其侧壁上;形成于该外露的金属氧化物层上的绝缘膜;形成于该导脚上的金属膜;以及覆盖于该金属膜、叠层结构表面及绝缘膜上的拒焊层,通过绝缘膜避免相邻导脚产生短路现象。 | ||
搜索关键词: | 半导体 组件 及其 制法 | ||
【主权项】:
一种半导体组件,其特征在于,其包括:透明基板;叠层结构,其形成于该透明基板上,该叠层结构包括依序形成于该透明基板上的金属氧化物层、胶层及半导体层,且该叠层结构具有多个沟槽,以令该金属氧化物层外露于该沟槽的槽壁;多个导脚,其间隔形成于该叠层结构的顶面上并延伸至该沟槽的槽壁上;绝缘膜,其覆盖于外露的该金属氧化物层上;金属膜,其形成于各该导脚上;以及拒焊层,其形成于该金属膜、该叠层结构的顶面与该绝缘膜上及该沟槽中,且该叠层结构的顶面的金属膜上的拒焊层形成有多个开孔,以外露各该导脚上的金属膜的部分。
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