[发明专利]一种有效控制晶圆生产过程中生产周期失控的方法有效
| 申请号： | 201210435207.2 | 申请日： | 2012-11-02 |
| 公开（公告）号： | CN102945030A | 公开（公告）日： | 2013-02-27 |
| 发明（设计）人： | 严丽辉;赵伟;柯陈宾 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | G05B19/418 | 分类号： | G05B19/418 |
| 代理公司： | 上海申新律师事务所 31272 | 代理人： | 竺路玲 |
| 地址： | 201210 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及半导体制造领域，尤其涉及一种有效控制晶圆生产过程中生产周期失控的方法。本发明提出一种有效控制晶圆生产过程中生产周期失控的方法，通过采用紧迫性系数对已送达至某一站点的所有lot重新赋予优先级，并根据该重新赋予的优先级依次对每个lot进行该站点的制程工艺，在提高产能效率的基础，有效控制产品生产周期的失控，进而提升产品的准时交货率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 有效 控制 生产过程 生产 周期 失控 方法 | ||
【主权项】：
一种有效控制晶圆生产过程中生产周期失控的方法，其特征在于，于一站点上，对已送达的所有lot进行组别划分；确认每个lot的交货期；计算每个lot的紧迫性系数；根据所述紧迫性系数重新赋予上述每个lot的优先级；根据优先级依次对每个lot进行该站点的制程工艺。
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