[发明专利]基板检查装置

摘要

本发明提供一种由一台检查装置就能够应对各种检查要求的基板检查装置。基板检查装置的检查主体部具备：将被检查基板从搬入侧输送至搬出侧的输送区域；以及配置有用于对被检查基板进行规定检查的检查夹具的检查区域，进而还具备：第一输送装置，其配置于输送区域，并将被检查基板从搬入侧输送至搬出侧；以及第二输送装置，其以沿着与所述第一输送装置的输送方向垂直的方向输送被检查基板的方式被配置，并用于在第一输送装置的规定位置与检查区域内的配置有检查夹具的位置之间输送被检查基板，其中，所述第二输送装置具备保持被检查基板的把持装置。

主权项

一种基板检查装置的检查主体部，具备：输送区域，其将被检查基板从搬入侧输送至搬出侧；以及检查区域，其配置有用于对所述被检查基板进行规定检查的检查夹具，所述检查主体部具备：第一输送装置，其配置于所述输送区域，并将所述被检查基板从所述搬入侧输送至所述搬出侧；以及第二输送装置，其以沿着与所述第一输送装置的输送方向垂直的方向输送所述被检查基板的方式被配置，并用于在所述第一输送装置的规定位置与所述检查区域内的配置有所述检查夹具的位置之间输送所述被检查基板，其中，所述第二输送装置具备保持所述被检查基板的把持装置。