[发明专利]一种离子注入机冷泵的控制方法无效
| 申请号： | 201210452415.3 | 申请日： | 2012-11-13 |
| 公开（公告）号： | CN103807154A | 公开（公告）日： | 2014-05-21 |
| 发明（设计）人： | 杨亚兵 | 申请（专利权）人： | 北京中科信电子装备有限公司 |
| 主分类号： | F04B49/06 | 分类号： | F04B49/06;H01J37/317 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 101111 北京市通*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种离子注入机冷泵的控制方法，包括：服务器(1)、工控机(2)、冷泵控制器(3)、压缩机1(4)、压缩机2(5)、冷泵P1(6)、冷泵P2(7)、冷泵P3(8)、冷泵P4(9)和冷泵P5(10)，其中服务器(1)与工控机(2)之间是通过TCP/IP协议进行通信，工控机(2)与冷泵控制器(3)，冷泵控制器(3)与压缩机、冷泵之间都是通过RS232协议进行通信，每个冷泵和压缩机都有一个通信地址，地址可以改动，但是同一个组里不能有相同的地址，否则就不能正常通信。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 离子 注入 机冷泵 控制 方法 | ||
【主权项】：
一种离子注入机冷泵的控制方法，包括：服务器(1)、工控机(2)、冷泵控制器(3)、压缩机1(4)、压缩机2(5)、冷泵P1(6)、冷泵P2(7)、冷泵P3(8)、冷泵P4(9)和冷泵P5(10)，其中服务器(1)与工控机(2)之间是通过TCP/IP协议进行通信，工控机(2)与冷泵控制器(3)，冷泵控制器(3)与压缩机、冷泵之间都是通过RS232协议进行通信，每个冷泵和压缩机都有一个通信地址，地址可以改动，但是同一个组里不能有相同的地址，否则就不能正常通信。
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