[发明专利]阀板连接组件、门阀装置及等离子体加工设备有效

专利信息
申请号: 201210455667.1 申请日: 2012-11-14
公开(公告)号: CN103807454A 公开(公告)日: 2014-05-21
发明(设计)人: 张金斌 申请(专利权)人: 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司
主分类号: F16K1/48 分类号: F16K1/48;F16K1/20;H01J37/32
代理公司: 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 代理人: 彭瑞欣;张天舒
地址: 100176 北京*** 国省代码: 北京;11
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摘要: 发明提供一种阀板连接组件、门阀装置及等离子体加工设备,阀板连接组件包括主体、第一调节单元和第二调节单元,其中,主体的一端与驱动轴连接,另一端借助第一调节单元和第二调节单元与阀板连接;第一调节单元的一端与主体通过螺纹连接,另一端与阀板可旋转地连接;在主体中设置有沿分别垂直于驱动轴的轴向和径向的方向贯穿主体的摆动空间,其与第一调节单元间隔设置;第二调节单元的一端穿过摆动空间,并与主体可旋转地连接;第二调节单元的另一端与阀板可旋转地连接。本发明提供的阀板连接组件不仅能方便地调节阀板与主体之间的间距和角度,还提高阀板与主体之间的角度的调节范围。
搜索关键词: 连接 组件 门阀 装置 等离子体 加工 设备
【主权项】:
一种阀板连接组件,用于将阀板与驱动轴连接,所述驱动轴用于驱动所述阀板绕其旋转,其特征在于,包括主体、第一调节单元和第二调节单元,其中所述主体的一端与所述驱动轴连接,另一端借助所述第一调节单元和第二调节单元与所述阀板连接;所述第一调节单元的一端与所述主体通过螺纹连接,另一端与所述阀板可旋转地连接,并且所述第一调节单元的轴线分别垂直于所述驱动轴的轴向和径向;所述第一调节单元通过改变其与所述主体和/或阀板在所述第一调节单元的轴向上的相对位置,来调节所述主体和阀板之间在所述第一调节单元所在位置处的间距;在所述主体中设置有沿分别垂直于所述驱动轴的轴向和径向的方贯穿所述主体厚度的摆动空间,所述摆动空间与所述第一调节单元间隔设置;所述第二调节单元的一端穿过所述摆动空间,且与所述主体可旋转地连接,另一端与所述阀板可旋转地连接,并且所述第二调节单元的轴线分别垂直于所述驱动轴的轴向和径向;所述第二调节单元通过改变其与所述主体和/或阀板在所述第二调节单元的轴向上的相对位置,来调节所述主体和阀板之间在所述第二调节单元所在位置处的间距。
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