[发明专利]一种图案匹配方法、装置及线宽测量机有效
| 申请号： | 201210477123.5 | 申请日： | 2012-11-22 |
| 公开（公告）号： | CN102944179A | 公开（公告）日： | 2013-02-27 |
| 发明（设计）人： | 林勇佑 | 申请（专利权）人： | 深圳市华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/02 | 分类号： | G01B11/02;G06T7/00 |
| 代理公司： | 深圳汇智容达专利商标事务所(普通合伙) 44238 | 代理人： | 潘中毅;熊贤卿 |
| 地址： | 518132 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明实施例公开了一种图案匹配方法，用于线宽测量机的测量过程中，包括如下步骤：读取测量样本上的至少一预定位置上的用于匹配的标准图案；将所述测量样本上的所述每一标准图案分别与预存的与所述标准图案对应的多个设计原图进行对比；如果所述测量样本上的标准图案与至少一个设计原图比对成功，则判定所述图案匹配成功，进行后续的线宽测量过程；否则判定所述图案匹配失败。本发明实施例还公开了相应的图案匹配方法以及线宽测量机。根据本发明的实施例，可以提高进行线宽测量时的图案匹配的准确性和成功率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 图案 匹配 方法 装置 测量 | ||
【主权项】：
一种图案匹配方法，用于线宽测量机的测量过程中，其特征在于，包括如下步骤：读取测量样本上的至少一预定位置上的用于匹配的标准图案，所述测量样本为镀膜有多个图案的透明基板；将所述测量样本上的所述每一标准图案分别与预存的与所述标准图案对应的多个设计原图进行对比，所述多个设计原图差别在于图案灰度不同；如果所述测量样本上的标准图案与至少一个设计原图比对成功，则判定所述图案匹配成功，进行后续的线宽测量过程；否则判定所述图案匹配失败。
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