[发明专利]有机材料沉积系统无效
| 申请号： | 201210483534.5 | 申请日： | 2012-11-23 |
| 公开（公告）号： | CN103361604A | 公开（公告）日： | 2013-10-23 |
| 发明（设计）人： | 李亨培;安东愿 | 申请（专利权）人： | SNU精密股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/12;H05B33/10;H01L51/56 |
| 代理公司： | 北京润平知识产权代理有限公司 11283 | 代理人： | 施娥娟;桑传标 |
| 地址： | 韩国忠*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明涉及一种有机材料沉积系统，尤其是涉及一种用于在传输室中驱动机械手以将基材传输到工艺室中的结构简化，从而当对工艺室中的两个基材实施有机材料沉积工序时，用于基材的有机材料沉积工序的换向时间最短的有机材料沉积系统。 | ||
| 搜索关键词： | 有机 材料 沉积 系统 | ||
【主权项】：
一种有机材料沉积系统，该有机材料沉积系统包括工艺室和传输室，所述工艺室中实施将有机材料沉积到基材上的工序，所述基材在所述传输室传输到所述工艺室中；其中，基材支座支撑所述基材，遮罩支座放置在所述基材支座之下并且支撑遮罩，在所述工艺室的上部的第一侧和第二侧分别设置有放置在所述基材支座之上并且校准所述遮罩和所述基材的基材校准块，有机材料沉积源在所述工艺室的底部在所述第一侧和所述第二侧之间水平地往复运动以将所述有机材料沉积到所述基材上，机械手可旋转地安装在所述传输室中以倾斜地将所述基材传输到分别位于所述第一侧和所述第二侧的所述基材支座上。
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