[发明专利]一种曝光机有效
申请号: | 201210489221.0 | 申请日: | 2012-11-26 |
公开(公告)号: | CN103019041A | 公开(公告)日: | 2013-04-03 |
发明(设计)人: | 陆忠;李炳天;黄丽娟;靳福江 | 申请(专利权)人: | 京东方科技集团股份有限公司;成都京东方光电科技有限公司 |
主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20 |
代理公司: | 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 | 代理人: | 黄志华 |
地址: | 100015 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明涉及工程曝光设备技术领域,公开了一种曝光机。所述曝光机包括:载物框,所述载物框的边框内侧设置有固定被曝光物的固定件;光源装置,位于所述载物框所在平面的一侧,且出光方向垂直于所述载物框所在平面。在曝光时载物框不会反射穿过被曝光物的光线,因而避免了载物台斑点。另外,曝光机采用竖直曝光的方式,仅需在现有的光源装置中增加一个三棱镜,就可以实现双向曝光,大大提高了生产效率。 | ||
搜索关键词: | 一种 曝光 | ||
【主权项】:
一种曝光机,其特征在于,包括:载物框,所述载物框的边框内侧设置有固定被曝光物的固定件;光源装置,位于所述载物框所在平面的一侧,且出光方向垂直于所述载物框所在平面。
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