[发明专利]压印装置、压印方法和制造物品的方法有效
| 申请号： | 201210490618.1 | 申请日： | 2012-11-27 |
| 公开（公告）号： | CN103135340A | 公开（公告）日： | 2013-06-05 |
| 发明（设计）人： | 佐藤浩司 | 申请（专利权）人： | 佳能株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人： | 杨小明 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种用于执行压印处理的压印装置，通过所述压印处理，使用具有其上形成了图案的图案区的模具来模制基板上的压印材料，从而将所述图案转印到基板上，所述压印装置包括：检测器，其被配置为检测形成在基板上的多个压射区中的每个中的标记；变形单元，其被配置为使所述图案区变形；和控制器，其被配置为控制所述压印处理。 | ||
| 搜索关键词： | 压印 装置 方法 制造 物品 | ||
【主权项】：
一种用于执行压印处理的压印装置，通过所述压印处理，使用具有其上形成了图案的图案区的模具来模制基板上的压印材料，从而将所述图案转印到所述基板上，所述压印装置包括：检测器，所述检测器被配置为检测形成在所述基板上的多个压射区中的每个中的标记；变形单元，所述变形单元被配置为使所述图案区变形；和控制器，所述控制器被配置为控制所述压印处理，其中，所述多个压射区包括第一压射区和第二压射区，在所述第一压射区中，形成要被形成在一个压射区中的所有标记，在所述第二压射区中，没有形成要被形成在一个压射区中的一些标记，并且当对所述第二压射区执行压印处理时，所述控制器从由所述检测器通过检测形成在第一压射区中的标记而获得的结果计算第二压射区的形状，并通过使用所计算的第二压射区的形状来控制所述变形单元对所述图案区的变形量。
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