[发明专利]六氟化硫制备方法有效
| 申请号： | 201210497190.3 | 申请日： | 2012-11-29 |
| 公开（公告）号： | CN103848402A | 公开（公告）日： | 2014-06-11 |
| 发明（设计）人： | 罗建文;徐道斌 | 申请（专利权）人： | 福建省邵武市永晶化工有限公司 |
| 主分类号： | C01B17/45 | 分类号： | C01B17/45 |
| 代理公司： | 北京元本知识产权代理事务所 11308 | 代理人： | 何志原 |
| 地址： | 354001 福*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种六氟化硫制备方法，包括以下步骤：使氟气与气态硫磺反应生成粗六氟化硫气体，将粗六氟化硫气体进行热解、洗涤、除水、除酸及精馏处理，得到六氟化硫产品，对产品进行检测，对检测不合格的六氟化硫产品进行相关处理直到得到合格产品，将精馏处理分离出的尾气进行回收。本发明方法采用电解法制备的氟气和高品质硫磺作为原料进行反应，产生的粗六氟化硫气体杂质少，节省了纯化工序，减少了能耗；制备的六氟化硫各项指标优于国家标准GB/T 18867-2002《电子工业用气体六氟化硫》；对尾气进行回收，减少了污染，增加了产量；对不同情况的不合格品进行了控制。 | ||
| 搜索关键词： | 六氟化硫 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种六氟化硫制备方法，其特征在于，包括以下步骤：1）使氟气与气态硫磺反应生成粗六氟化硫气体；2）将粗六氟化硫气体进行热解处理，除去其中含S2F10和S2F10O的有毒气体；3）将热解后的粗六氟化硫气体进行洗涤处理，除去可水解杂质和酸性杂质；4）将洗涤后的粗六氟化硫气体进行除水处理、除酸处理及精馏处理，得到六氟化硫产品，对产品取样检测，若检测合格，则将产品排入产品储罐；若检测不合格，则进行相关处理，以得到合格产品。5）将精馏处理分离出的尾气进行回收处理，回收其中的六氟化硫。
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