[发明专利]蚀刻终点检测窗口、检测仪及蚀刻腔室在审
| 申请号： | 201210507096.1 | 申请日： | 2012-11-30 |
| 公开（公告）号： | CN102969216A | 公开（公告）日： | 2013-03-13 |
| 发明（设计）人： | 吴敏;王旭东;周雷 | 申请（专利权）人： | 上海宏力半导体制造有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 郑玮 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种蚀刻终点检测窗口，包括透光板和窗口板，所述窗口板上设有用于安装透光板的凹槽，所述凹槽的底部开设若干通光孔，所述凹槽的两侧壁下部对应开设用于卡住透光板的卡槽。本发明还公开了一种蚀刻终点检测仪及蚀刻腔体。本发明提供的蚀刻终点检测窗口、检测仪及蚀刻腔室，通过在所述窗口板上设有用于安装透光板的凹槽的两侧壁下部对应开设用于卡住透光板的卡槽，可以使得透光板卡在窗口板的卡槽中，防止透光板在拆卸过程中掉离窗口板，保护了易碎的透光板，从而，提高了蚀刻终点检测窗口、检测仪及蚀刻腔室的维护安全性和效率，降低了配件成本。 | ||
| 搜索关键词： | 蚀刻 终点 检测 窗口 | ||
【主权项】：
一种蚀刻终点检测窗口，其特征在于，包括透光板和窗口板，所述窗口板上设有用于安装透光板的凹槽，所述凹槽的底部开设若干通光孔，所述凹槽的两侧壁下部对应开设用于卡住透光板的卡槽。
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