[发明专利]基板清洗方法

摘要

一边向清洗喷嘴（60）的筒状体（61）内部供给清洗液一边关闭阀（76），由压电元件（62）对清洗液赋予振动，从而从多个喷出孔（64）生成并喷出清洗液的液滴。所喷出的液滴的液滴直径为15μm以上且200μm以下，其分布以3σ表示处于平均液滴直径的10％以下。另外，液滴速度为每秒20米以上且每秒100米以下，其分布以3σ表示处于平均液滴速度的10％以下。并且，液滴流量为每分钟10毫升以上。如果一边满足这些喷出条件一边从清洗喷嘴60向基板喷出清洗液的液滴，则能够在不对基板造成损伤的情况下提高清洗效率。

主权项

一种基板清洗方法，向基板（W）喷出清洗液的液滴来进行清洗，其特征在于，生成平均液滴直径为15μm以上且200μm以下并且液滴直径的分布以3σ表示处于所述平均液滴直径的10％以下的清洗液的液滴，并以每分钟10毫升以上的液滴流量向基板喷出所述液滴，其中，σ为标准偏差。