[发明专利]基板翻转装置

摘要

本发明公开了基板翻转装置。根据本发明，基板翻转装置通过致动器使升降夹持部件升降。因此，不需要为了包覆并保护致动器的柱塞的第一伸缩管膨胀而向第一伸缩管的内部注入高压空气。即，能够将第一伸缩管的内部维持大气压状态，在第一伸缩管施加有相对小的压力。因此，防止第一伸缩管被损伤，所以提高用于翻转基板的工序的可靠性。并且，柱塞被第一伸缩管包覆并保护，可使用非真空用致动器，因此，具有降低成本的效果。

主权项

一种基板翻转装置，其特征在于，包括：真空状态的主腔室；旋转框架，被上述主腔室支承并能够旋转；固定夹持部件，设置于上述旋转框架的一侧而与上述旋转框架一同旋转，并对上述基板的一表面边缘部进行支承；升降夹持部件，设置在上述旋转框架的另一侧而与上述旋转框架一同旋转，设置成可升降并支承上述基板的另一表面边缘部，当设置于上述升降夹持部件与上述固定夹持部件之间的上述基板通过上述旋转框架的旋转而翻转时，与上述固定夹持部件协同工作而防止上述基板掉落；致动器，具有柱塞，该柱塞的一侧结合在上述升降夹持部件侧并进行直线运动，从而使上述升降夹持部件升降；及第一伸缩管，其一侧结合在上述升降夹持部件，另一侧结合在上述致动器，用于包覆上述柱塞，并随着上述柱塞的直线运动而进行伸缩。