[发明专利]有机层沉积装置、有机发光显示装置及其制造方法

摘要

本发明提供了一种有机层沉积装置、有机发光显示装置及其制造方法。该有机层沉积装置包括沉积源，用于排放沉积材料；沉积源喷嘴单元，布置在沉积源的一侧并包括多个沉积源喷嘴；图案缝隙片，与沉积源喷嘴单元相对地布置并包括多个图案缝隙；静电吸盘，基底能够附于静电吸盘并能够从静电吸盘拆卸；吸盘移动构件，与静电吸盘组合并被构造为使静电吸盘移动；以及引导构件，引导吸盘移动构件的移动，吸盘移动构件包括第一磁力发生器，引导构件包括与第一磁力发生器对应的第二磁力发生器，吸盘移动构件由于第一磁力发生器和第二磁力发生器产生的磁力而能够在引导构件上移动。

主权项

一种用于在基底上形成有机层的有机层沉积装置，所述有机层沉积装置包括：沉积源，用于排放沉积材料；沉积源喷嘴单元，布置在沉积源的一侧并包括多个沉积源喷嘴；图案缝隙片，与沉积源喷嘴单元相对地布置并包括多个图案缝隙；静电吸盘，基底能够附于静电吸盘并能够从静电吸盘拆卸；吸盘移动构件，与静电吸盘组合并被构造为使静电吸盘移动；以及引导构件，引导吸盘移动构件的移动，其中，吸盘移动构件包括第一磁力发生器，其中，引导构件包括与第一磁力发生器对应的第二磁力发生器，其中，吸盘移动构件由于在第一磁力发生器和第二磁力发生器产生的磁力而能够在引导构件上移动，其中，基底与图案缝隙片分隔开，并且基底和图案缝隙片中的至少一个能够相对于另一个移动，以及其中，图案缝隙片在第一方向和垂直于第一方向的第二方向中的至少一个方向上小于基底，其中，第一磁力发生器中的每个包括：多个磁辊；轴，连接所述多个磁辊；和轴固定单元，将轴固定在吸盘移动构件上，以使轴绕着沿轴的长度方向延伸的轴旋转，其中，第二磁力发生器中的每个包括位于引导构件的表面上的包括多个第二磁体的磁体轨道，所述多个磁辊与磁体轨道分隔开，其中，当磁辊旋转时，磁辊产生的第一电场螺旋移动以使吸盘移动构件在各包括磁体轨道的引导构件上移动。