[发明专利]一种制作大面积蒸镀用掩模板的辅助治具及其使用方法有效
| 申请号： | 201210525031.X | 申请日： | 2012-12-10 |
| 公开（公告）号： | CN103866228B | 公开（公告）日： | 2018-04-27 |
| 发明（设计）人： | 魏志凌;高小平;王海峰;杨志龙 | 申请（专利权）人： | 昆山允升吉光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;H01L51/56 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215300 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种制作大面积蒸镀用掩模板的辅助治具及其使用方法，用于制作大面积蒸镀用掩模板的辅助治具包括边框架及在所述边框架上的开口，其特征在于,所述边框架包括两组相对共四条对边并在四条对边中央形成中空区域，所述开口为位于四条所述对边上的长条开口或离散开口；所述对边由内边和外边构成，所述开口位于所述内边和所述外边之间。本发明提供的用于制作大面积蒸镀用掩模板的辅助治具可以将掩模板四边联接并固定使其具有一定的张力从而使其表面平整，在经过相应的处理线时，不出现形变，提高产品质量，减少报废率，节约生产成本，提升效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 制作 大面积 蒸镀用掩 模板 辅助 及其 使用方法 | ||
【主权项】：
一种制作大面积蒸镀用掩模板的辅助治具，包括边框架及在所述边框架上的开口，其特征在于，所述边框架包括两组相对共四条对边并在四条对边中央形成中空区域，所述开口为位于四条所述对边上的长条开口或离散开口；所述对边由内边和外边构成，所述开口位于所述内边和所述外边之间。
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