[发明专利]基板处理装置和基板处理方法

摘要

本发明提供基板处理装置和基板处理方法。该基板处理装置抑制不同的药液混合。基板处理装置（1）具有：基板保持部（21），其用于水平地保持晶圆（W）；旋转驱动部（24），其用于使基板保持部（21）旋转；第1药液喷嘴（73），其用于向晶圆（W）的周缘部上的第1药液供给位置（74a）喷出第1药液；第2药液喷嘴（83），其用于向晶圆W的周缘部上的第2药液供给位置（84a）喷出第2药液。当第1药液喷嘴（73）喷出第1药液时，旋转驱动部（24）使基板保持部（21）向第1旋转方向（R1）旋转，并且，当第2药液喷嘴（83）喷出第2药液时，旋转驱动部（24）使基板保持部（21）向第2旋转方向（R2）旋转。

主权项

一种基板处理装置，其一边使被水平地保持的基板旋转，一边利用药液对基板的周缘部进行液处理，其特征在于，该基板处理装置具有：基板保持部，其用于水平地保持基板；旋转驱动部，其用于使上述基板保持部旋转；第1药液喷嘴，其用于向基板的周缘部上的第1药液供给位置喷出第1药液；第2药液喷嘴，其用于向基板的周缘部上的第2药液供给位置喷出第2药液，当上述第1药液喷嘴喷出第1药液时，上述旋转驱动部使上述基板保持部向第1旋转方向旋转，并且，当上述第2药液喷嘴喷出第2药液时，上述旋转驱动部使上述基板保持部向与第1旋转方向相反的第2旋转方向旋转。