[发明专利]槽体排泡装置与方法有效

专利信息
申请号: 201210537689.2 申请日: 2012-12-13
公开(公告)号: CN103157583A 公开(公告)日: 2013-06-19
发明(设计)人: 刘宗珀;陈敬业 申请(专利权)人: 亚智科技股份有限公司
主分类号: B05C11/10 分类号: B05C11/10;B05C11/11
代理公司: 北京汇泽知识产权代理有限公司 11228 代理人: 朱振德
地址: 中国台湾桃*** 国省代码: 中国台湾;71
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摘要: 发明系一种槽体排泡装置与方法,于涂布制程中,其涂布装置中设置一药液储存之槽体,该槽体可藉由复数隔板上至少设置有一网状滤泡装置,且该网状滤泡装置可有效阻隔拦截药液中的气泡,使流出槽体之药液具有最佳无泡稳定之特性;且藉由隔板个数增加设置,而使药液的流动路径增长,来强化药液之排泡效果;再藉由该药液入口及该药液出口皆设置于该槽体之底部,亦可减少药液流动时之扰动,以降低气体混入形成气泡之机会。
搜索关键词: 槽体排泡 装置 方法
【主权项】:
一种槽体排泡装置,用以去除含有气泡之药液,其特征在于,其系包括有:一槽体,具有一中空腔室用以承装药液以形成一液体平面;一药液入口及一药液出口;以及复数个隔板,间隔排列设置于该槽体中,其中,每一该复数个隔板之两端皆与该槽体相接触,且具有复数个孔洞。
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