[发明专利]半导体及微电子行业耐高温防滑夹具

摘要

本发明公开了半导体及微电子行业耐高温防滑夹具，通过夹头与夹臂的安装组合方式，使用时施力于夹臂，用卡槽卡住所夹持晶片，有效防止夹持过程中晶片的掉落。本发明包含有第一夹臂、第二夹臂，第一夹臂另一端安装第一夹头，第二夹臂另一端安装第二夹头，第一夹头与第二夹头之间形成卡槽夹持部，通过作用第一夹臂、第二夹臂控制第一夹头、第二夹头的运动作用于样品。本发明根据使用温度的不用，夹臂和夹头可选择适当的耐高温材料制成，达到高温条件下取放晶片的目的。

主权项

一种半导体及微电子行业耐高温防滑夹具，其特征在于，包含有：第一夹臂（1）、第二夹臂（2），所述第一夹臂（1）、第二夹臂（2）之间相互连接形成连接端，所述第一夹臂（1）、第二夹臂（2）之间互成夹角，所述第一夹臂（1）、第二夹臂（2）具有一定弹性形变性能，所述第一夹臂（1）另一端的自由端安装衔接有第一夹头（3），所述第二夹臂（2）另一端的自由端安装衔接有第二夹头（4），所述第一夹头（3）与所述第二夹头（4）之间形成卡槽夹持部，通过作用所述第一夹臂（1）、第二夹臂（2）控制所述第一夹头（3）、第二夹头（4）的运动作用于样品；所述第一夹头（3）、第二夹头（4）的形状为铲形，所述第一夹头（3）与所述第一夹臂（1）内侧形成一个向内的锐角，所述第二夹臂（2）与所述第二夹头（4）内侧形成一个向内侧的锐角；或所述第一夹头（3）、第二夹头（4）的形状为勾形，所述第一夹头（3）与所述第一夹臂（1）内侧形成一个向内的95～150度钝角，所述第二夹臂（2）与所述第二夹头（4）内侧形成一个向内侧的95～150度钝角；或所述第一夹臂（1）与所述第二夹臂（2）的末端呈八字张开，所述第一夹臂（1）向外的末端使八字外侧形成一个100～170度钝角，所述第二夹臂（2）向外的末端使八字外侧形成一个100～170度钝角，所述第一夹臂（1）与所述第二夹臂（2）的末端部分别与所述第一夹头（3）和所述第二夹头（4）连接，所述第一夹头（3）、第二夹头（4）末端间距大于晶片（5）直径，所述第一夹臂（1）末端部与所述第一夹头（3）形成内向50～130度劣角的钩状卡槽，所述第二夹臂（2）末端部与所述第二夹头（4）形成内向50～130度劣角的钩状卡槽，所述第一夹头（3）、第二夹头（4）的卡槽向内，利用卡槽卡住晶片（5）。