[发明专利]物品保管设备以及物品保管方法

摘要

本发明的物品保管设备具备收纳基板的运送容器的多个收纳部，和向多个收纳部供给惰性气体的惰性气体供给路径。多个收纳部被区分成多个区域。惰性气体供给路径具备向区域供给惰性气体的区域用供给部分，和将由区域用供给部分供给到区域的惰性气体向该区域中的多个收纳部分支供给的收纳部用供给部分。在物品保管设备上设有使两个以上的收纳部用供给部分彼此连通的旁通部分，和能够切换成旁通部分的惰性气体能够流通的打开状态或旁通部分的惰性气体不能够流通的关闭状态的旁通用切换阀。

主权项

一种物品保管设备，具备：收纳收容基板的运送容器的多个收纳部，相对于上述多个收纳部运送上述运送容器的运送装置，向上述多个收纳部的每一个供给惰性气体的惰性气体供给路径，将由上述惰性气体供给路径供给到上述收纳部的惰性气体向收纳在该收纳部中的上述运送容器的内部排放的排放部，在此，上述多个收纳部被区分成多个区域，上述惰性气体供给路径具备：将惰性气体向上述多个区域的每一个供给的区域用供给部分，和将由上述区域用供给部分供给到上述多个区域的各区域的惰性气体向该区域中的上述多个收纳部的每一个分支供给的收纳部用供给部分，上述物品保管设备的特征在于，设有使多个上述收纳部用供给部分中的两个以上的上述收纳部用供给部分彼此连通的旁通部分，和能够切换成上述旁通部分的惰性气体能够流通的打开状态或上述旁通部分的惰性气体不能够流通的关闭状态的旁通用切换阀。